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Purification de gaz
Support régénérable inorganique permettant de purifier les gaz à des températures ambiantes jusqu'à des niveaux de l'ordre de la partie par milliard. Grâce aux produits et technologies innovants de contrôle de la contamination des gaz d'Entegris, nos clients sont sûrs de disposer des technologies les plus récentes et sont prêts à faire face aux défis de demain dans les domaines des dispositifs de pointe, des cellules photovoltaïques, des batteries lithium-ion ou en Life Science.
Purification des liquides
Élimination des contaminations par ions métalliques. Les technologies de purification des liquides d'Entegris offrent une protection optimale contre les contaminations par ions métalliques en assurant une élimination à haute capacité, en un passage, des ions métalliques présents dans l'eau ultrapure et certains solvants organiques. Solution idéale pour les applications de nettoyage critique, notamment le rinçage de l'eau déionisée sur les outils de traitement en recirculation et à passage unique, le séchage des wafers et les nettoyages CMP.
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